化妆品生产洁净车间
来源：广东三汇净化科技有限公司 人气：1975 发表时间：2012-05-04
什么是硅晶片生产？
硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。硅晶片生产包括硅单棒生产和硅晶片生产两大部分，主要工序为：单晶棒生长→单晶棒裁切和检测→外径磨削→切片→倒角（圆边）→研磨/研磨片检查→蚀刻(化学蚀刻、PC-CVD、AP-CVD等工艺)→PTA热处理→背面损伤处理→抛光（ML粗抛、ML精抛）→洁净→品质检查→洁净包装。
从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为硅晶片生产工序。我司专业承接硅晶片厂净化工程设计装修，以下是硅晶片厂洁净车间的一般环境要求。
硅晶片洁净车间生产工序一般环境要求
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序号 |
房间名称 |
夏季温度/℃ |
冬季温度/℃ |
相对湿度(%) |
净化级别 |
室内噪声/dB(A) |
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1 |
切片洁净车间 |
≤26 |
≥20 |
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防尘 |
≤70 |
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2 |
倾角净化车间 |
≤26 |
≥20 |
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防尘 |
≤70 |
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3 |
研磨片洁净厂房 |
≤26 |
≥20 |
|
防尘 |
≤70 |
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4 |
研磨片检查净化室 |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
防尘 |
≤65 |
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5 |
蚀刻(CP室) |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
7级 |
≤65 |
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6 |
炉室(DC炉、JG炉) |
22~26 |
22~26 |
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防尘 |
≤65 |
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7 |
BSD洁净车间 |
22~26 |
22~26 |
|
防尘 |
≤65 |
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8 |
蚀刻（LP-CVD、CP/CVD） |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
6级 |
≤65 |
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9 |
抛光（ML室） |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
7级 |
≤65 |
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10 |
洗净室 |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
5级 |
≤65 |
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11 |
品质检查洁净室 |
24±1 |
24±1 |
45±5 |
5级 |
≤65 |
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12 |
洁净包装净化车间 |
24±2 |
24±2 |
45±10 |
6级 |
≤65 |
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