微电子工业净化工程 - 无尘车间 - 广州净化工程_无尘车间_洁净室_净化车间

您现在的位置:首页>>产品中心>>无尘车间

产品中心

product

推荐文章

洁净厂房安全疏散门及防排烟系统设计要点

洁净车间设备管理---洁净厂房的设备节能运行

洁净车间设备管理--生产工艺设备和工器具的防污染管理措施

净化厂房设备管理---净化空调系统设备的管理

洁净车间无尘环境的维护--保洁班次要点

化妆品生产洁净车间

来源：广东三汇净化科技有限公司 人气：1236 发表时间：2012-09-18

微电子工业净化工程、微电子工业净化厂房、微电子工业无尘净化车间、微电子工业洁净车间

微电子工业是当前对洁净厂房要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路（LSI、VLSI）的发展，对微尘控制要求越来越高。集成电路制造工艺中，集成度越大，图形尺寸（以线宽为代表）越细，对净化车间控制粒径的尺寸也要求越小（通常为线宽的1/10），且含尘量也要求越低。此外，现代工业中的液晶、光纤等的生产，同样有洁净度的要求。