我国空气洁净技术的研究和应用开始于20世纪50年代末，第一个净化工程于1965年在电子工厂建成投入使用，同一时期我国的高效空气过滤器（HEPA）研制成功投入生产。20世纪60年代是我国洁净技术发展的起步时期，在高效过滤器研制成功后，相继以HEPA为终端过滤的几家半导体集成电路工厂、航空陀螺仪厂、单晶硅厂和精密机械加工企业的洁净厂房建成。在此期间，还研制生产了光电式气溶胶浊计，用以检测空气中尘埃粒子浓度；建成了高效过滤器钠焰试验台，这样便为发展我国空气洁净技术提供了基本的条件。

       从20世纪70年代末开始，我国洁净技术随着各行业引进技术和设备的兴起得到了长足进步。1981年无隔板高效过滤器和液槽密封装置通过鉴定并投入生产，随后0.1µm高效过滤器研制成功，为满足超大规模集成电路的研制和生产创造了有利条—。20世纪80年代我国空气洁净技术和净化工程建设取得了明显的成果，在建设大规模集成电路工厂、研究所、彩色显像管工厂以及制药工厂洁净厂房的同时，建成一批5级（100级）、6级（1000级）的洁净车间， 如500㎡的5级（100级）垂直单向流洁净室、1080㎡的5级（100级）垂直单向流洁净厂房、5级（100级）水平单向流手术室等，这批净化工程的相继建成并投入使用，标志着我国洁净技术发展进入了一个新的阶段.

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